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GP-20D KV-3N
Œ^Ž® GP-20D CRP-500 KV-3N
ƒ‚[ƒ^[o—Í(kw) 0.2 0.75 2.2
”r‹C‘¬“x(‡g/min) 20 500 1500
“ž’B^‹ó“x 1~10-1Pa

(8~10-4Torr)

1~10-3 Torr 0.7Pa

(5~10-3Torr)

‰ñ“]”(rpm) 1440 650 500
–û —Ê (‡g) 0.8 4.8 5
d—Ê(kg) 13.5 72 129
‹z“üŒû 14ƒÓ~9.5ƒÓ 34 JIS^‹óÌ×ݼÞ50